KASHIYAMA INDUSTRIES 干式真空泵 SDE120U-048 采用螺杆式无油设计，通过精密啮合转子实现气体压缩，全程无润滑油污染1。其极限压力低至 0.5 Pa，抽速达 2000 L/min，配备变频驱动（VFD），能耗较传统机型降低 40%312。转子与腔体采用不锈钢镀层或陶瓷涂层，可耐受 HCl、Cl₂等腐蚀性气体及颗粒物，适合半导体晶圆制造、CVD/PVD 设备抽真空等洁净环境需求18。该泵支持远程监控与自诊断功能，广泛应用于半导体、LED 封装、化工溶剂回收及锂电池干燥等场景，兼顾高效与可靠性114。