EDWARDS 干式真空泵 IL600 NEW LK采用无油螺杆技术，峰值抽速达 600 m³/h，极限压力低至 7×10⁻⁴ mbar，适用于半导体制造中的 PECVD、LPCVD 及刻蚀工艺，可处理腐蚀性气体与颗粒35。其磁悬浮轴承设计寿命超 10 万小时，能耗较传统泵降低 40%，并支持 IoT 智能监控与远程诊断18。设备广泛应用于晶圆处理、光伏电池生产及 LED 封装等场景，尤其在需要高洁净度与稳定性的高精密工艺中表现优异912。