SNU 半导体检测设备 PSIS-5006 是一款高精度光学扫描检测系统，专为半导体晶圆及显示面板制造设计。其核心功能包括液晶量测量、缺陷分析及关键尺寸检测，可精准定位 TFT 与滤色器间的液晶注入量异常410。设备支持大尺寸晶圆（如 300mm）及玻璃基板检测，集成 AI 算法实现微米级缺陷识别，适用于 LCD/OLED 面板量产线的实时质量监控714。在半导体领域，PSIS-5006 可用于晶圆级封装（WLP）的焊盘对准检测，确保先进制程中芯片互连的可靠性21。该设备已广泛应用于京东方等厂商的高世代产线，在 10.5 代 LCD 面板生产中通过 PSIS 技术提升良率1014。