NIKON OPTISTATION-3200 是专为半导体晶圆检测设计的全自动光学显微镜系统，支持 300mm 晶圆，搭载 CFI60 光学器件与 DUV（248nm）模块，可实现高对比度成像与微米级缺陷识别316。其核心功能包括表面、中心背面及边缘背面的宏观检查，集成自动缺陷分类（ADC）与光学字符识别（OCR）技术，结合高精度定位系统与自动化传输模块，每小时可检测多片晶圆316。设备兼容工厂自动化布局，适用于逻辑芯片、存储芯片及显示面板的研发与量产，尤其在先进制程（如 5nm 以下）的缺陷分析和工艺优化中表现优异，可显著提升良率并支持在线实时监控116。